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(合)先端配線材料研究所
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発明の名称
文献番号
公開日
IPC,FIセクション
出願人,権利者
銅配線、銅配線の形成方法および半導体装置
特許5578466
2014年8月27日
H 電気
(合)先端配線材料研究所, 東北大学
液晶表示装置及びその製造方法
特許5571887
2014年8月13日
H 電気
(合)先端配線材料研究所, アルティアムサービシズリミテッドエルエルシー, 東北大学
コンタクトプラグ形成方法
特許5510657
2014年6月4日
H 電気
(合)先端配線材料研究所, 東北大学
液晶表示装置
特許5121299
2013年1月16日
G 物理学, H 電気
(合)先端配線材料研究所, アルティアムサービシズリミテッドエルエルシー, 東北大学
液晶表示装置及びその製造方法
特許4453845
2010年4月21日
G 物理学, H 電気
(合)先端配線材料研究所, 東北大学
銅配線形成方法、銅配線および半導体装置
特許4441658
2010年3月31日
H 電気
(合)先端配線材料研究所, 東北大学
銅配線、半導体装置および銅配線の形成方法
特許4423379
2010年3月3日
C 化学;冶金, H 電気
(合)先端配線材料研究所, 東北大学
銅配線、半導体装置および銅配線形成方法
特許4415100
2010年2月17日
C 化学;冶金, H 電気
(合)先端配線材料研究所, 東北大学
液晶表示装置及びその製造方法
特開2008-170744
2008年7月24日
G 物理学, H 電気
(合)先端配線材料研究所, 東北大学